Высокие требования к чистоте поверхностей. А. Панн.
Журнал "Чистые помещения и технологические среды", 2009, № 2, стр. 13-17.
Последняя разработка в области проверки чистоты поверхности. М. Полен.
Журнал "Чистые помещения и технологические среды", 2003, № 3, стр. 20-23.
Счетчики частиц на поверхности
Поделиться ссылкой: