Подбор приборов для контроля параметров чистых помещений производится в соответствии с требованиями стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-3.
Основной параметр, определяющий выбор счетчиков частиц – чувствительность (минимальный размер детектируемых частиц – зависит от технологического процесса, который проводится в данном чистом помещении. Возможно применение счетчиков с чувствительностью 0.1 мкм, 0.2 мкм и 0.3 мкм.
Контроль счетной концентрации частиц различных размеров:
вид измерений |
рекомендуемые для чистых помещений приборы |
измерения размеров и концентрации частиц
|
Solair 1100 LD
|
измерения размеров и концентрации частиц
с чувствительностью 0,1 мкм
с чувствительностью 0,2 мкм с чувствительностью 0,3 мкм |
Solair 1100 LD
Handheld 2016
Handheld 3016 |
мониторинг частиц: с чувствительностью 0,1 мкм
с чувствительностью 0,2 мкм с чувствительностью 0,3 мкм |
Remote 1104 LD или Remote 1100 LD Apex R02 или Remote 2014 или Remote 2014Р Apex R03 или Remote 3014 или Remote 3014Р |
измерение дефектов и сканирование установленных НЕРА фильтров |
Solair 3100 |
Контроль других параметров чистых помещений:
визуализация воздушных потоков |
Генератор тумана FOG 2010+ |
скорость однонаправленных воздушных потоков |
Прибор Testo 435-4 |
скорость неоднонаправленных (турбулентных) воздушных потоков |
Прибор Testo 435-4 |
перепад давления (стационарный прибор, монтируемый на стене или оборудовании) |
Dwyer Magnehelic 2000 |
перепад давления (переносной прибор для оперативного контроля) |
Прибор Testo 435-4 |
температура, относительная влажность (переносной прибор для оперативного контроля) |
Прибор Testo 435-4 |