Особенностью аэрокосмической промышленности является расширенный диапазон размеров измеряемых частиц в сторону больших значений диаметров частицы (5, 10, 25, иногда 40 мкм). Эти требования содержатся в отраслевых нормативных документах (ОСТ 1 41519-2001 и др.). В остальном подбор приборов для контроля параметров чистых помещений производится в соответствии с требованиями стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-3.
Контроль счетной концентрации частиц различных размеров:
вид измерений |
рекомендуемые для чистых помещений приборы |
измерения размеров и концентрации частиц (как оперативные измерения, так и аттестация чистых помещений) |
Boulder Counter |
измерения размеров и концентрации частиц |
Boulder Counter или Solair 5100 |
мониторинг частиц |
Remote 5014P |
измерение дефектов и сканирование установленных НЕРА фильтров |
Solair 3100 |
Контроль других параметров чистых помещений:
визуализация воздушных потоков |
Генератор тумана FOG 2010+ |
скорость однонаправленных воздушных потоков |
Прибор Testo 435-4 |
скорость неоднонаправленных (турбулентных) воздушных потоков |
Прибор Testo 435-4 |
перепад давления (стационарный прибор, монтируемый на стене или оборудовании) |
Dwyer Magnehelic 2000 |
перепад давления (переносной прибор для оперативного контроля) |
Прибор Testo 435-4 |
температура, относительная влажность (переносной прибор для оперативного контроля) |
Прибор Testo 435-4 |