Датчики контроля молекулярных загрязнений в воздухе

Показывать как:      

Молекулярные загрязнения - это загрязнения, находящиеся в газовой фазе (в молекулярной форме), оказывающие негативное влияние на производимый продукт или процесс. Источниками молекулярных загрязнений могут являться:

  • системы воздухоподготовки
  • рециркуляционный воздух
  • реагенты, участвующие в процессе
  • >неправильно отрегулированные уровни выбросов
  • обслуживающий персонал
  • конструкционные материалы
  • утечки применяемых в процессе жидкостей
  • системы охлаждения
  • выделение газов при старении различных материалов
  • моющие растворы
Рассматривая молекулярные загрязнения, важно понять, какие газообразные вещества влияют на процесс и в каких количествах. Некоторые процессы или продукты могут быть в значительной степени чувствительны к одному типу веществ и совершенно не чувствительны к другому. Планируя систему контроля молекулярных загрязнений, необходимо понять, что не существует такого датчика, который позволял бы проводить контроль любых молекулярных загрязнений. Если практически любые аэрозольных частиц оказывают влияние на процесс, то молекулярные загрязнения необходимо контролировать раздельно - в этом заключается существенное различие между системами контроля молекулярных загрязннений и системами контроля аэрозолей. Определение веществ, влияющих на процесс, и возможных источников их появления позволяет построить систему, обеспечивающую надёжный контроль молекулярных загрязнений.

Система контроля молекулярных загрязнений состоит из следующих основных частей:

  • датчики для каждого контролируемого вещества или типа веществ
  • коллектор (при использовании датчиков, требующих внешний насос)
  • компьютер (локальная сеть), обрабатывающий поступающие данные
  • дополнительные устройства (сигнализация, источники бесперебойного питания и т.п.).